V-573에는 초고전적인 선형 모터 스테이지가 포함되어 있습니다. | 출처 : PI
Physik Instrumente LP 또는 PI는 새로운 고자력 선형 모터 스테이지 패밀리 인 V-573으로 제품 포트폴리오를 확장했습니다. 이 회사는 이것이 정확한 안내 및 마찰이없는 3 상 선형 모터를 갖춘 새로운 일련의 선형 위치 지정 단계라고 말했다.
PI는 절대 인코더가있는 미국에서 만든 선형 단계는 스캔, 측정, 이미징 및 정렬을 포함한 연구 및 산업 응용에 적합하다고 PI는 말했다. 그만큼 회사의 제품은 나노 리스토그래피, 마스크 및 CD 측정, 웨이퍼 검사 및 웨이퍼 다이 싱과 같은 중요한 반도체 프로세스를 지원합니다.
Karlsruhe, 독일 기반 PI 설계 및 제조 정밀도 운동 북아메리카, 유럽 및 아시아 지역의 에어 베어링, 헥사 포드 및 Piezo 드라이브를 포함한 자동화 시스템. 그만큼 회사 50 년 전에 설립되었으며 오늘날 전 세계 1,900 명 이상의 사람들을 고용하고 있습니다.
미국 자회사 인 PI LP는 북아메리카의 5 개의 시설을 운영하며, 매사추세츠 주 오번에 본사를두고 있으며,이 시스템은 실리콘 광자, 양자 컴퓨팅, 산업 자동화, 고해상도 현미경 및 생명 과학의 발전을 가속화한다고 주장했다.
PI는 새로운 모터 단계에서 사양을 제공합니다
PI는 V-573의 다음 사양을 나열했습니다.
- 160/260/360mm 여행
- 1Nm 절대 인코더 해상도
- 80nm 양방향 반복성
- 스트레이트 니스/평탄도에서 1µm
- 500mm/sec. 최대 속도
- 1G 가속도
- 140n 푸시/풀 힘
V-573 패밀리는 PI를 주장하면서 까다로운 생산 환경을위한 정밀성과 속도를 결합합니다. XY 구성을 위해 설계된이 회사는이 단계가 ACS 기반 ETHERCAT 모션 컨트롤러와 통합하여 최적의 시스템 성능을위한 고급 알고리즘을 사용한다고 밝혔다.
V-573은 다양한 산업에서 일할 수 있습니다
Pi는 고급 스테이지 디자인은 1 µm 정도의 직선 및 평탄도 값을 제공한다고 말했다. 교차 롤러 베어링은 강성, 부드러운 달리기 및 연장 된 수명을 보장합니다. 라인 접촉 설계는 마찰을 최소화하고 정확도를 향상 시키며 더 높은 하중을 지원하며 신뢰성 향상을위한 안티 크리프 메커니즘을 지원한다고 덧붙였습니다.
비 코깅, 3 상 직접 드라이브 선형에 의해 구동됩니다 모터Pi는이 단계는 고속 및 가속도에서 원활한 움직임으로 유지 보수가없는 성능을 제공한다고 Pi는 주장했다. Direct Force 전송은 직접 측정 선형 인코더와 함께 백래시와 재생을 제거하면서 정확도와 양방향 반복성을 향상시킵니다.
V-573은 증분 또는 절대 인코더와 함께 사용할 수 있습니다. Absolute Encoder 모델은 1NM 해상도 및 전원업에 대한 즉각적인 위치 피드백을 제공하여 효율적이고 안전한 시작을위한 참조 이동을 제거합니다.
PI는 V-573은 다음을 포함하여 다양한 산업에 적합하다고 말했다.
- 샘플 검사, 정밀 미세 조립 및 고급 연구
- 반도체 테스트 및 검사 및 계측
- 정밀 자동화, 장치 어셈블리 및 레이저 마이크로 프로세싱
- 고속 픽 앤-플레이스, 광학의 정렬, 미세 역학 및 광자 구성 요소
- 생명 공학, 현미경 및 의료 기기 제조
PI는 부스 1554의 Semicon West 2025에서 기술을 시연 할 계획입니다. 회사는 현재의 반도체 테스트, 계측 및 제조를위한 최신 고정밀 모션 제어 기술.
게시물 PI는 높은 역학 선형 모터 스테이지 패밀리를 방출합니다 먼저 나타났습니다 로봇 보고서.