ASMPT는 반도체 어셈블리 및 포장 장비의 발전에 전념하며 광범위한 반도체 응용 분야에서 산업 자동화 솔루션을 제공합니다. 아시아, 유럽 및 아메리카에 걸친 연구 센터, 생산 시설 및 상업용 사무소가있는 30 개국 이상에서 운영됩니다. 최근 ASMPT는 ALSI, AMICRA, NEXX 및 AEI 팀을 포함한 여러 장비 브랜드를 추가하여 일련의 대상 비즈니스 인수를 통해 확장되었습니다. 이러한 인수를 통해 고객에게 광범위한 프로세스 솔루션을 제공 할 수있었습니다.
Renishaw와 ASMPT의 관계는 현재 25 년입니다. 두 회사 모두 포지션 인코더 응용 프로그램, 맞춤형 솔루션 및 품질 관리를위한 기계 테스트와 같은 영역에서 광범위한 공유 경험을 축적하면서 긴밀한 비즈니스 관계를 구축했습니다.
도전
최신 반도체 포장 및 어셈블리 프로세스는 위치 정확도 및 안정성, 기계 크기 및 무게, 품질 관리 및 프로세스 처리량의 요구하는 성능을 요구합니다. 위치 인코더는 모션 제어에서 중요한 역할을하며 공급 업체는 새로운 기술을 개발 하고이 시장의 엄격한 요구를 충족시키기 위해 혁신적인 솔루션을 도입해야합니다.
어셈블리 및 포장 공정 장비 영역에서 올바른 인코더를 선택하는 것이 중요합니다. ASMPT는 구매자가 고려해야 할 몇 가지 필수 기능을 강조합니다.
해결책
ASMPT는 Atom DX 및 Vionic 증분 엔코더 시리즈 및 Resolute Absolute Encoder 시리즈를 포함하여 수년 동안 다양한 Renishaw 인코더 제품을 사용했습니다. 이 인코더는 일반 IC (Integrated Circuit) 포장 용으로 설계된 12 인치 다이 본더 인 ASMPT의 무한대를 포함한 광범위한 어셈블리 및 포장 공정 장비에 사용됩니다. 이 고급 시스템은 미크론 수준 정확도로 결합 선 두께를 측정하기위한 정확한 에폭시 디스펜스 제어 및 검사 기능과 같은 혁신적인 기능을 자랑합니다.
ASMPT의 무한 다이 본딩 머신
모션 제어 시스템의 중요한 구성 요소로서 우수한 인코더 성능은 시장의 엄격하고 증가하는 요구를 충족시키는 데 기본입니다. 중요한 인코더 사양의 주요 예는 읽기 및 인터페이스의 크기입니다. 백엔드 반도체 제조는 실리콘 웨이퍼의 모든 기능이 생성 된 후 다이 본딩 및 와이어 본딩과 같은 최종 공정을 나타냅니다. 백엔드 장비가 최대 20 개의 리드 헤드를 수용 할 수 있다는 점을 고려할 때 기계 설계 내에서 이러한 인터페이스가 차지하는 공간의 영향을 최소화하는 것이 필수적입니다.
ASMPT의 선임 연구 및 개발 책임자 인 Joseph Choy 박사는“특정 고급 패키징 제조 장비의 응용 요구 사항을 감안할 때 작업 헤드의 온도에 대한 민감도를 덜 나타내는 재료를 사용하는 것이 필수적이됩니다. 즉, 열 확장 계수가 낮은 재료가 필요합니다. “그러나 이러한 재료는 일반적으로 무겁기 때문에 전반적인 장비 무게를 증가시키고 관성 제어에 어려움을 겪습니다. Renishaw의 Atom DX 인코더 시리즈는이 문제를 해결하고 공간을 점유하고 무게를 크게 줄이면서 장비 설계 프로세스의 유연성을 향상시킵니다.”
ASMPT의 선임 연구 및 개발 이사 인 Joseph Choy 박사
ATOM DX 인코더는 읽기에서 디지털 신호를 직접 출력하고 모든 위치 피드백, 온보드 보간 및 광학 필터링 기능을 소형 패키지 내에서 통합합니다. 읽기는 최소 패키지 크기가 20.5 mm x 12.7 mm x 7.85 mm로 매우 컴팩트하도록 설계되어 추가 연결 인터페이스가 필요하지 않고 매우 작은 공간에 설치할 수 있으므로 ASMPT 시스템의 상당한 공간을 절약 할 수 있습니다. Atom DX 인코더 시리즈는 최대 2.5 nm의 해상도와 낮은 하위 분비물 오류 (SDE) 및 낮은 신호 지터와 같은 장점으로 우수한 성능을 제공합니다.
유지 보수 절차를 간소화하기 위해 정밀 반도체 제조 장비는 종종 모듈 내의 인코더 읽기에서 케이블을 분리 할 수있는 설계를 갖추고 있습니다. 그런 다음이 케이블은 중개 커넥터를 통해 컨트롤러에 연결됩니다. 이 설계를 사용하면 고장시 전체 모듈을 신속하게 교체하여 다운 타임을 최소화 할 수 있습니다. Renishaw는 고객을위한 커넥터 옵션이 다양한 인코더 케이블을 제공합니다. 이러한 옵션에는 특정 요구 사항에 따라 고객이 납땜 할 수있는 소규모 원형 커넥터 또는 비행 리드가 포함됩니다.
시스템 진단
일반적으로 인코더 리드 헤드의 설정 LED는 성공적인 설치를 보장하기에 충분한 상태 정보를 제공합니다. 보다 어려운 설치 시나리오에서 Renishaw의 ADT (Advanced Diagnostic Tool)는 추가 실시간 데이터보고, 설치 및 진단을 제공 할 수 있습니다. 따라서 ADT는 ASMPT의 장비 개발 및 생산 공정, 특히 고급 장비 모델에서 중추적 인 역할을 수행했습니다.
ASMPT 기술 관리자 인 IR George Chan은“Renishaw의 ADT는 우리에게 큰 도움이되었으며 엔지니어는 인코더의 설치 상태를 신속하게 설정하고 다른 위치에서 신호 강도 변화를 평가하여 인코더의 설치 상태를 신속하게 설정하고 문제의 근본 원인을 식별 할 수있게 해줍니다.
Renishaw 광학 인코더 범위
요약
어셈블리 및 포장 장비의 제조는 품질 관리 및 생산성과 관련된 중요한 과제에 직면 해 있습니다.
품질 관리는 사양 및 신뢰성 표준을 충족하고 프로세스 일관성을 보장하며 결함 및 변동을 최소화하는 데 도움이되므로 프로세스 장비 제조에 중요합니다.
ASMPT는 신흥 기술로 인해 반도체에 대한 증가하는 수요를 충족 시키도록 설계된 신제품을 도입했습니다. 오랜 메트로 공급 업체 인 Renishaw는 품질 관리, 인코더 및 맞춤형 솔루션에 대한 광범위한 경험을 제공합니다. 인코더 솔루션에는 Atom DX 미니어처 증분 엔코더 시리즈, Vionic 증분 엔코더 시리즈 및 Resolute Absolute Encoder 시리즈가 포함됩니다.
Renishaw의 ADT (Advanced Diagnostic Tool) 및 Readhead Setup LED는 인코더 설치 및 진단에 중요한 역할을합니다.
이러한 계측 제품은 최적의 프로세스 장비 성능 및 효율성을 보장합니다.
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게시물 ASMPT는 고품질 모션 제어를 위해 Renishaw를 선택합니다 먼저 나타났습니다 로봇 보고서.